干泵是一种关键工业设备，广泛应用于半导体制造、液晶显示、太阳能等行业，通过无油操作实现高真空环境。其主要技术特点包括处理多种气体和蒸汽的能力、运行噪音低、可靠性高。
  干式真空泵通过机械运动产生真空环境，无需油润滑，避免了油污染，适用于洁净度要求高的工业场景。根据结构可分为鲁式、螺杆型等，工作原理涉及气体压缩和排放。
  干泵在半导体制造中用于PVD、CVD、刻蚀等工艺，提供及维持真空环境。在液晶显示制造中，作为标准设备用于生产线。此外，还应用于半导体、太阳能、*药、化工等领域，处理粉尘和水蒸汽。